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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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一种基于快速自动聚焦的相变光刻系统
李震, 倪日文, 曾笔鉴
2016, 40(2): 178-182. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.006
关键词: 激光技术, 相变光刻, 激光直写, 脉冲激光, 自动聚焦